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  28       O    -0.54    15.91    12.83    -148.98      -1.91    14.00     16
  29       Si    0.93   -20.97    25.13      68.60       1.72   -19.25     16
  30       H    -0.27     5.17     7.05      99.48       0.70     5.88     16
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  62       H     0.11    -5.51     8.14      -2.39      -0.02    -5.53     16
 Total:          1.00   -94.04   499.32                  5.79   -88.25