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  16       C    -0.11    -0.14     6.88      30.04       0.21     0.07     16
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  21       O    -0.53     1.01    12.88     -35.23      -0.45     0.55     16
  22       Si    0.65    -1.83    30.92    -169.99      -5.26    -7.08     16
  23       C    -0.05     0.02     9.98     -38.99      -0.39    -0.37     16
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  29       H     0.10    -0.27     6.70     -51.93      -0.35    -0.62     16
  30       H     0.08     0.00     8.14     -51.93      -0.42    -0.42     16
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  33       H     0.38    -2.14     8.70      45.56       0.40    -1.75     16
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  36       H     0.17    -0.22     8.06     -52.49      -0.42    -0.64     16
  37       H     0.10    -0.08     8.10     -51.93      -0.42    -0.50     16
  38       H     0.12    -0.29     7.01     -51.93      -0.36    -0.65     16
 Total:          0.00    -6.59   360.52                 -8.28   -14.87