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  20       C    -0.08     0.01     2.86      36.01       0.10     0.11     16
  21       O    -0.54    -0.04    11.47     -35.23      -0.40    -0.45     16
  22       Si    0.59     0.41    27.55    -169.99      -4.68    -4.27     16
  23       C    -0.10    -0.03     9.35     -39.65      -0.37    -0.41     16
  24       C    -0.05     0.00     9.62     -39.17      -0.38    -0.38     16
  25       C    -0.15     0.10     7.46     -25.92      -0.19    -0.10     16
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  29       H     0.06     0.00     8.14     -51.93      -0.42    -0.42     16
  30       H     0.07    -0.11     8.14     -51.93      -0.42    -0.53     16
  31       H     0.06     0.00     8.14     -51.93      -0.42    -0.42     16
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  47       H     0.09     0.03     7.90     -51.93      -0.41    -0.38     16
 Total:          0.00    -5.67   393.16                -10.56   -16.23