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  16       C     0.11     0.14     7.28     -39.39      -0.29    -0.15     16
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  21       C    -0.13     0.11    10.36     -39.12      -0.41    -0.29     16
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  23       C     0.01     0.00     6.14     -81.95      -0.50    -0.50     16
  24       C    -0.06     0.07     2.89      36.01       0.10     0.17     16
  25       O    -0.53     0.08    10.43     -35.23      -0.37    -0.29     16
  26       Si    0.72    -1.55    31.10    -169.99      -5.29    -6.84     16
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  31       H     0.08    -0.34     8.14     -51.93      -0.42    -0.76     16
  32       H     0.10    -0.36     7.72     -51.93      -0.40    -0.76     16
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  41       H     0.38    -0.88     8.70      45.56       0.40    -0.48     16
  42       H    -0.25    -0.25     7.11      56.52       0.40     0.15     16
  43       H    -0.26    -0.12     7.11      56.52       0.40     0.28     16
 Total:          0.00    -8.17   374.72                -11.48   -19.65