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  16       C     0.08     0.25     7.28      22.39       0.16     0.41     16
  17       F    -0.14    -1.06    16.84      44.97       0.76    -0.30     16
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  21       C    -0.12     0.45    10.36      22.57       0.23     0.69     16
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  24       C    -0.07     0.19     2.89      71.24       0.21     0.39     16
  25       O    -0.55    -0.11    10.43    -148.98      -1.55    -1.66     16
  26       Si    0.82    -4.19    31.10      68.60       2.13    -2.05     16
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  41       H     0.38    -1.53     8.70     -74.06      -0.64    -2.17     16
  42       H    -0.30    -0.71     7.11      99.48       0.71     0.00     16
  43       H    -0.29    -0.12     7.11      99.48       0.71     0.59     16
 Total:          0.00   -22.94   374.72                  1.49   -21.45