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  17       F    -0.14    -1.08    16.84      44.97       0.76    -0.32     16
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  24       O    -0.54     2.90    12.86    -148.98      -1.92     0.99     16
  25       Si    0.77    -2.75    32.09      68.60       2.20    -0.55     16
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  41       H    -0.28    -0.57     7.11      99.48       0.71     0.13     16
  42       H    -0.30    -1.14     7.11      99.48       0.71    -0.43     16
 Total:          0.00   -20.03   377.64                  1.88   -18.16