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  18       O    -0.54     0.95    11.47     -35.23      -0.40     0.55     16
  19       Si    0.68    -1.16    30.72    -169.99      -5.22    -6.39     16
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  21       F    -0.11    -0.13    12.84       2.25       0.03    -0.10     16
  22       C    -0.08     0.01     9.52     -39.11      -0.37    -0.36     16
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  44       H     0.07    -0.01     6.56     -51.93      -0.34    -0.35     16
 Total:          0.00    -7.36   353.63                -10.01   -17.37