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  14       C     0.59     2.07     7.77     -12.86      -0.10     1.97     16
  15       O    -0.54    -3.58    14.18       5.19       0.07    -3.50     16
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  19       C     0.06     0.11     6.18     -81.95      -0.51    -0.39     16
  20       C    -0.06     0.03     2.98      36.01       0.11     0.14     16
  21       O    -0.54    -0.01     9.79     -35.23      -0.35    -0.35     16
  22       Si    0.71    -1.12    31.10    -169.99      -5.29    -6.41     16
  23       N    -0.39    -1.37     3.16    -115.62      -0.37    -1.74     16
  24       C     0.06     0.16    10.30      59.84       0.62     0.78     16
  25       C    -0.13     0.23     7.29     -25.92      -0.19     0.04     16
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 Total:          0.00    -9.36   380.48                -10.64   -20.00