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  14       C    -0.19    -0.61     5.88     -20.05      -0.12    -0.73     16
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  16       F    -0.14    -1.64    15.55      44.97       0.70    -0.94     16
  17       C    -0.15     0.41    10.01      22.28       0.22     0.63     16
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  19       C    -0.13     0.77     5.34     -19.90      -0.11     0.67     16
  20       C    -0.07     0.46     2.79      71.23       0.20     0.66     16
  21       O    -0.55     3.35    12.83    -148.98      -1.91     1.44     16
  22       Si    0.77    -5.61    29.79      68.60       2.04    -3.56     16
  23       C    -0.03     0.09     9.17      22.52       0.21     0.29     16
  24       C    -0.14     0.10     7.27      31.18       0.23     0.32     16
  25       C    -0.16    -0.09     8.52      22.28       0.19     0.10     16
  26       C    -0.08    -0.08    10.04      22.26       0.22     0.14     16
  27       C    -0.22    -0.58     9.04      22.36       0.20    -0.38     16
  28       H     0.06    -0.22     7.66      -2.39      -0.02    -0.23     16
  29       H     0.06    -0.23     7.66      -2.39      -0.02    -0.25     16
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  46       H     0.14    -0.15     6.30      -2.91      -0.02    -0.16     16
 Total:          0.00   -25.10   382.93                  1.35   -23.75