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  14       C    -0.16    -0.04     5.88     -20.06      -0.12    -0.16     16
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  16       F    -0.13    -1.37    15.55      44.97       0.70    -0.67     16
  17       C    -0.13     0.11     9.20      22.28       0.20     0.31     16
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  19       C    -0.08     0.32     2.97      71.24       0.21     0.53     16
  20       O    -0.54     0.75    11.63    -148.98      -1.73    -0.98     16
  21       Si    0.75    -2.27    29.54      68.60       2.03    -0.24     16
  22       C     0.09    -0.52     6.65      22.33       0.15    -0.37     16
  23       F    -0.09     0.74    13.67      44.97       0.61     1.35     16
  24       C    -0.07     0.46     9.52      22.57       0.21     0.68     16
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  28       C    -0.22    -0.37     9.04      22.36       0.20    -0.17     16
  29       H     0.06    -0.26     7.66      -2.39      -0.02    -0.28     16
  30       H     0.06    -0.28     7.66      -2.39      -0.02    -0.30     16
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  45       H     0.14    -0.55     8.06      -2.91      -0.02    -0.57     16
  46       H     0.14    -0.23     6.30      -2.91      -0.02    -0.25     16
 Total:          0.00   -22.85   386.54                  2.12   -20.72