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  13       O    -0.46    -2.51    16.10     -14.35      -0.23    -2.74     16
  14       C     0.43     1.13     2.05      36.01       0.07     1.20     16
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  16       F    -0.17    -0.35    15.31       2.25       0.03    -0.31     16
  17       O    -0.28    -1.30     9.60     -39.35      -0.38    -1.68     16
  18       C     0.11     0.44     6.48     -39.22      -0.25     0.19     16
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  21       C    -0.10    -0.26     5.39    -104.60      -0.56    -0.82     16
  22       C    -0.07     0.00     2.79      36.00       0.10     0.10     16
  23       O    -0.55    -0.10    12.81     -35.23      -0.45    -0.55     16
  24       Si    0.68    -0.61    29.84    -169.99      -5.07    -5.68     16
  25       C    -0.05    -0.11     9.68     -39.61      -0.38    -0.50     16
  26       C    -0.12    -0.35     9.99     -39.43      -0.39    -0.74     16
  27       C    -0.14     0.26     7.26     -25.92      -0.19     0.08     16
  28       C    -0.15     0.06     8.55     -39.56      -0.34    -0.27     16
  29       C    -0.08     0.00    10.04     -39.60      -0.40    -0.40     16
  30       C    -0.21    -0.16     9.04     -39.43      -0.36    -0.52     16
  31       H     0.06    -0.12     7.66     -51.93      -0.40    -0.52     16
  32       H     0.10    -0.28     8.14     -51.93      -0.42    -0.71     16
  33       H     0.06    -0.12     7.66     -51.93      -0.40    -0.51     16
  34       H     0.13     0.05     8.05     -52.48      -0.42    -0.38     16
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  47       H     0.08    -0.08     8.14     -51.92      -0.42    -0.51     16
  48       H     0.13    -0.27     6.71     -52.49      -0.35    -0.63     16
  49       H     0.13    -0.23     8.06     -52.48      -0.42    -0.66     16
  50       H     0.13    -0.11     6.30     -52.49      -0.33    -0.44     16
 Total:          0.00    -9.45   421.22                -10.75   -20.20