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  14       C    -0.21    -0.01     9.37      22.01       0.21     0.19     16
  15       C     0.04     0.17     6.17      41.34       0.26     0.42     16
  16       C    -0.07     0.10     2.89      71.23       0.21     0.30     16
  17       O    -0.56    -0.33    10.48    -148.98      -1.56    -1.90     16
  18       Si    0.81    -3.10    31.10      68.60       2.13    -0.96     16
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  20       C     0.08     0.63     9.38     127.77       1.20     1.83     16
  21       C    -0.17    -0.19     7.73      31.18       0.24     0.05     16
  22       H     0.08    -0.36     8.14      -2.39      -0.02    -0.38     16
  23       H     0.06    -0.01     8.14      -2.39      -0.02    -0.03     16
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  39       H     0.09     0.16     8.14      -2.39      -0.02     0.14     16
  40       H     0.07     0.17     8.14      -2.39      -0.02     0.15     16
 Total:          0.00   -21.06   330.91                 -0.25   -21.31