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   5       C    -0.11     0.46     4.26     -11.01      -0.05     0.41     16
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  13       C    -0.15     0.02     5.88     -20.06      -0.12    -0.10     16
  14       C     0.14     0.14     7.28      22.67       0.17     0.31     16
  15       F    -0.12    -0.75    15.55      44.97       0.70    -0.05     16
  16       C    -0.12     0.49     8.62      22.28       0.19     0.68     16
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  19       O    -0.55     1.22    12.88    -148.98      -1.92    -0.70     16
  20       Si    0.78    -4.05    29.90      68.60       2.05    -2.00     16
  21       C     0.10    -0.13     7.23      22.33       0.16     0.03     16
  22       F    -0.13    -0.28    16.73      44.97       0.75     0.47     16
  23       C    -0.08     0.32     9.51      22.57       0.21     0.54     16
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  36       H     0.18    -1.74     6.40      -2.91      -0.02    -1.76     16
  37       H     0.09    -0.38     8.09      -2.39      -0.02    -0.40     16
  38       H     0.10    -0.46     8.14      -2.39      -0.02    -0.48     16
 Total:          0.00   -24.06   337.53                  2.58   -21.47