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   5       C    -0.10     0.31     4.26     -11.01      -0.05     0.27     16
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  13       C    -0.27    -0.94     6.31     -18.99      -0.12    -1.05     16
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  15       C    -0.08     0.04     9.89      71.24       0.70     0.75     16
  16       O    -0.17    -0.35     8.90       4.45       0.04    -0.31     16
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  20       Si    0.77    -1.90    32.09      68.60       2.20     0.30     16
  21       C    -0.15    -0.01    10.48      23.65       0.25     0.24     16
  22       C    -0.12     0.40     7.16      31.12       0.22     0.62     16
  23       H     0.06    -0.05     8.13      -2.39      -0.02    -0.07     16
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 Total:          0.00   -19.90   333.12                  1.85   -18.05