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   5       C    -0.11     0.48     4.26     -11.01      -0.05     0.44     16
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  16       C     0.17    -0.28     6.70      22.57       0.15    -0.13     16
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  21       C    -0.09     0.00     1.74      71.24       0.12     0.12     16
  22       O    -0.54    -0.62    11.77    -129.50      -1.52    -2.15     16
  23       Si    0.79    -4.34    29.91      68.60       2.05    -2.29     16
  24       C    -0.05    -0.16     6.85      36.38       0.25     0.09     16
  25       N     0.04     0.35     4.45     -46.46      -0.21     0.14     16
  26       O    -0.19    -2.10    18.44      18.88       0.35    -1.75     16
  27       O    -0.16    -2.15    14.61      25.13       0.37    -1.79     16
  28       C    -0.11     0.07     8.54      22.35       0.19     0.26     16
  29       C    -0.12     0.70     7.15      31.12       0.22     0.92     16
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 Total:          0.00   -35.83   411.63                  2.38   -33.45