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  21       C    -0.06    -0.14     2.37      36.01       0.09    -0.05     16
  22       O    -0.52    -2.11    12.88     -35.23      -0.45    -2.57     16
  23       Si    0.69     0.18    30.24    -169.99      -5.14    -4.96     16
  24       C    -0.04    -0.01     8.65     -39.63      -0.34    -0.36     16
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 Total:          0.00   -10.92   380.73                 -9.48   -20.40