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   4       O    -0.50    -2.03    15.65     -18.75      -0.29    -2.32     16
   5       C    -0.11     0.24     4.15     -90.82      -0.38    -0.14     16
   6       H     0.13    -0.53     8.14     -51.93      -0.42    -0.95     16
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  11       C     0.56     0.70     7.77     -12.39      -0.10     0.60     16
  12       O    -0.51    -2.66    14.96       5.31       0.08    -2.58     16
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  14       C     0.16     0.19     7.28     -38.97      -0.28    -0.09     16
  15       F    -0.10    -0.37    15.55       2.25       0.04    -0.33     16
  16       C    -0.13     0.05     8.62     -39.57      -0.34    -0.29     16
  17       C    -0.05     0.02     5.30    -104.49      -0.55    -0.53     16
  18       C    -0.08     0.13     2.43      36.01       0.09     0.22     16
  19       O    -0.53     0.09    12.86     -35.23      -0.45    -0.36     16
  20       Si    0.69    -1.77    30.19    -169.99      -5.13    -6.91     16
  21       C     0.11    -0.05     7.23     -39.49      -0.29    -0.33     16
  22       F    -0.12    -0.07    16.73       2.25       0.04    -0.03     16
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  26       H     0.06    -0.05     8.13     -51.93      -0.42    -0.47     16
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  31       H     0.16    -0.27     4.87     -52.49      -0.26    -0.53     16
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 Total:          0.00    -9.92   337.18                 -7.34   -17.26