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  14       C    -0.03     0.00     8.77      22.51       0.20     0.20     16
  15       C    -0.16     0.10     5.13     -19.86      -0.10    -0.01     16
  16       C    -0.07    -0.03     2.97      71.24       0.21     0.18     16
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  18       Si    0.76    -0.41    30.81      68.60       2.11     1.71     16
  19       C     0.10    -0.17     6.67      22.47       0.15    -0.02     16
  20       F    -0.13    -0.26    12.82      44.97       0.58     0.32     16
  21       C    -0.15     1.02    10.01      22.27       0.22     1.24     16
  22       C    -0.04     0.39     9.54      22.51       0.21     0.60     16
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  35       H     0.17    -1.99     8.06      -2.91      -0.02    -2.01     16
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  38       H     0.09    -0.31     8.10      -2.38      -0.02    -0.33     16
 Total:          0.00   -24.34   328.88                  1.90   -22.44