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   5       C    -0.11     0.14     4.13     -90.97      -0.38    -0.24     16
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  12       O    -0.52    -2.54    15.92       5.35       0.09    -2.46     16
  13       C     0.08     0.07     6.75     -83.01      -0.56    -0.49     16
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  15       C     0.10    -0.16     9.84     -17.57      -0.17    -0.33     16
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  18       O    -0.54     0.97    12.78     -35.23      -0.45     0.52     16
  19       Si    0.69    -2.14    29.82    -169.99      -5.07    -7.21     16
  20       C    -0.05     0.06     9.76     -39.31      -0.38    -0.32     16
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  22       C    -0.13     0.16     7.43     -25.94      -0.19    -0.03     16
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  25       H     0.06    -0.03     8.13     -51.93      -0.42    -0.45     16
  26       H     0.11    -0.06     7.44     -51.93      -0.39    -0.45     16
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  36       H     0.09    -0.10     8.14     -51.93      -0.42    -0.52     16
  37       H     0.10    -0.12     8.10     -51.93      -0.42    -0.54     16
 Total:          0.00    -8.71   323.97                 -7.75   -16.46