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  14       C     0.06    -0.57     9.81     127.77       1.25     0.68     16
  15       C    -0.02     0.00     6.14      40.98       0.25     0.25     16
  16       C    -0.04     0.10     2.87      71.24       0.20     0.30     16
  17       O    -0.54     1.36    10.32    -148.98      -1.54    -0.18     16
  18       Si    0.77    -0.60    31.11      68.60       2.13     1.54     16
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  20       C    -0.13     0.31     7.65      31.12       0.24     0.54     16
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  22       H     0.09    -0.32     8.14      -2.39      -0.02    -0.33     16
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  35       H     0.15     0.54     6.88      -2.91      -0.02     0.52     16
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  37       H     0.10    -0.10     8.14      -2.39      -0.02    -0.12     16
 Total:          0.00   -22.41   313.25                  0.16   -22.24