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  16       C    -0.12    -0.12    10.35      22.57       0.23     0.12     16
  17       C    -0.21    -0.15     9.37      22.01       0.21     0.06     16
  18       C     0.01     0.03     6.14      41.34       0.25     0.28     16
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  20       O    -0.55     0.65    10.43    -148.98      -1.55    -0.91     16
  21       Si    0.81    -3.19    31.29      68.60       2.15    -1.04     16
  22       H     0.09     0.12     8.14      -2.39      -0.02     0.10     16
  23       H     0.10     0.29     6.90      -2.39      -0.02     0.28     16
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  40       H    -0.29    -0.87     7.11      99.48       0.71    -0.16     16
 Total:          0.00   -19.11   319.39                 -2.15   -21.26