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   5       C     0.19     0.41     6.66     -39.24      -0.26     0.15     16
   6       O    -0.27    -0.85     8.99     -39.33      -0.35    -1.20     16
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  17       C    -0.11    -0.17     8.71     -39.59      -0.34    -0.51     16
  18       C    -0.15     0.30     7.19     -25.92      -0.19     0.11     16
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  21       F    -0.20    -0.47    17.41       2.25       0.04    -0.43     16
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  23       C    -0.18    -0.29     5.27    -104.45      -0.55    -0.84     16
  24       C    -0.05    -0.11     2.37      36.00       0.09    -0.02     16
  25       O    -0.53    -1.53    12.88     -35.23      -0.45    -1.99     16
  26       Si    0.68     0.14    29.91    -169.99      -5.09    -4.95     16
  27       C    -0.03     0.01     8.65     -39.63      -0.34    -0.33     16
  28       C    -0.24     0.10     9.04     -39.40      -0.36    -0.25     16
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  31       H     0.10    -0.43     8.14     -51.93      -0.42    -0.86     16
  32       H     0.14    -0.15     6.30     -52.48      -0.33    -0.48     16
  33       H     0.10    -0.30     7.65     -51.93      -0.40    -0.69     16
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  50       H     0.14    -0.36     6.29     -52.49      -0.33    -0.69     16
 Total:          0.00   -11.60   411.54                -10.64   -22.24