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  14       F    -0.14    -1.75    15.55      44.97       0.70    -1.05     16
  15       C    -0.15     0.35    10.01      22.28       0.22     0.57     16
  16       C    -0.05     0.34     8.66      22.32       0.19     0.53     16
  17       C    -0.13     0.81     5.38     -19.90      -0.11     0.70     16
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  20       Si    0.77    -5.95    29.78      68.60       2.04    -3.90     16
  21       C    -0.02     0.09     9.09      22.52       0.20     0.30     16
  22       C    -0.14    -0.16     7.43      31.12       0.23     0.07     16
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  39       H     0.09    -0.09     7.90      -2.39      -0.02    -0.11     16
 Total:          0.00   -23.75   331.04                  0.41   -23.34