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  22       C    -0.05     0.04     3.08      36.01       0.11     0.15     16
  23       O    -0.54     0.32    12.88     -35.23      -0.45    -0.13     16
  24       Si    0.71    -1.34    30.56    -169.99      -5.20    -6.53     16
  25       N    -0.54    -0.18     5.90      -5.42      -0.03    -0.22     16
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  47       H     0.42    -0.66     8.96     -40.82      -0.37    -1.02     16
 Total:          0.00    -9.15   383.06                -10.99   -20.14