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  21       Si    1.02    -4.21    12.19    -169.99      -2.07    -6.28     16
  22       C    -0.45     1.32     8.65     101.05       0.87     2.19     16
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  25       O    -0.15    -0.47     9.17       5.00       0.05    -0.43     16
  26       C     0.00     0.01     6.94     -35.41      -0.25    -0.24     16
  27       C     0.14    -0.10     5.27      36.01       0.19     0.09     16
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  29       C     0.14     0.13     6.69     -39.22      -0.26    -0.14     16
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  31       C    -0.08     0.03     8.66     -39.61      -0.34    -0.32     16
  32       C    -0.16     0.02     5.35    -104.60      -0.56    -0.54     16
  33       C    -0.08     0.07     2.80      36.01       0.10     0.17     16
  34       O    -0.54     0.08    12.83     -35.23      -0.45    -0.38     16
  35       Si    0.95    -0.97    25.14    -169.99      -4.27    -5.24     16
  36       H    -0.25     0.10     7.11      56.52       0.40     0.50     16
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  38       H    -0.25     0.25     7.04      56.52       0.40     0.65     16
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 Total:          0.00   -12.18   633.05                -13.08   -25.26