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   5       C     0.19     0.42     6.66     -39.24      -0.26     0.16     16
   6       O    -0.27    -0.85     8.99     -39.32      -0.35    -1.20     16
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  21       F    -0.13    -0.24    17.27       2.25       0.04    -0.20     16
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  24       C    -0.13     0.43     7.29     -25.92      -0.19     0.25     16
  25       C    -0.18    -0.30     5.27    -104.45      -0.55    -0.86     16
  26       C    -0.06    -0.12     2.37      36.01       0.09    -0.04     16
  27       O    -0.52    -2.00    12.88     -35.23      -0.45    -2.45     16
  28       Si    0.69     0.08    30.25    -169.99      -5.14    -5.07     16
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  50       H     0.13    -0.28     6.29     -52.48      -0.33    -0.61     16
 Total:          0.00   -10.54   422.58                -10.50   -21.04