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  13       C    -0.11     0.18    10.05     -39.58      -0.40    -0.21     16
  14       C    -0.11     0.17     9.38     -39.58      -0.37    -0.20     16
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  17       H     0.11    -0.31     7.61     -51.93      -0.40    -0.70     16
  18       F    -0.20    -0.38    17.41       2.25       0.04    -0.34     16
  19       C    -0.15     0.39     6.09     -25.92      -0.16     0.23     16
  20       N    -0.54     0.61     5.47      -5.70      -0.03     0.58     16
  21       C     0.01    -0.01     6.11     -81.96      -0.50    -0.51     16
  22       C    -0.04     0.06     2.98      36.00       0.11     0.17     16
  23       O    -0.53     0.56    12.87     -35.23      -0.45     0.10     16
  24       Si    0.67    -2.08    30.96    -169.99      -5.26    -7.34     16
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  26       H     0.07     0.13     8.14     -51.93      -0.42    -0.29     16
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  28       H     0.08     0.28     6.49     -51.93      -0.34    -0.06     16
  29       H     0.39    -1.11     6.25     -40.82      -0.25    -1.36     16
  30       H     0.08    -0.08     8.14     -51.93      -0.42    -0.50     16
  31       H     0.08    -0.11     7.31     -51.93      -0.38    -0.49     16
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  42       H     0.13    -0.19     7.96     -51.93      -0.41    -0.60     16
  43       H     0.38    -1.79     8.70      45.56       0.40    -1.40     16
  44       H    -0.24    -0.05     7.11      56.52       0.40     0.35     16
  45       H    -0.25     0.37     7.11      56.52       0.40     0.77     16
  46       H     0.15     0.10     8.06     -52.48      -0.42    -0.33     16
 Total:          0.00    -7.95   381.21                -11.16   -19.11