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   3       C    -0.14     0.15     8.85      37.16       0.33     0.48     16
   4       C    -0.18    -0.18     8.37      37.16       0.31     0.13     16
   5       O    -0.36    -0.66     9.94     -40.28      -0.40    -1.07     16
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   7       O    -0.57    -2.34    11.48     -19.28      -0.22    -2.56     16
   8       N    -0.70     0.85     5.36     -57.93      -0.31     0.54     16
   9       C     0.14    -0.31     4.12     -67.12      -0.28    -0.59     16
  10       H     0.12    -0.17     7.47     -51.92      -0.39    -0.56     16
  11       C    -0.16     0.29     7.68     -25.92      -0.20     0.09     16
  12       C     0.12    -0.26     4.32     -67.12      -0.29    -0.55     16
  13       H     0.12    -0.08     7.46     -51.92      -0.39    -0.47     16
  14       N    -0.71     1.37     5.21     -54.00      -0.28     1.09     16
  15       C     0.57     0.62     7.77     -12.38      -0.10     0.52     16
  16       O    -0.53    -2.58    15.94       5.31       0.08    -2.50     16
  17       C    -0.14     0.02     5.87    -104.97      -0.62    -0.60     16
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  19       C    -0.15     0.00     5.13    -104.62      -0.54    -0.54     16
  20       C    -0.07    -0.01     2.96      36.00       0.11     0.10     16
  21       O    -0.53    -0.70    11.64     -35.23      -0.41    -1.11     16
  22       Si    0.68     0.06    29.58    -169.99      -5.03    -4.97     16
  23       C     0.12    -0.11     6.66     -39.27      -0.26    -0.37     16
  24       F    -0.10     0.13    13.72       2.25       0.03     0.16     16
  25       C    -0.15     0.35    10.01     -39.58      -0.40    -0.05     16
  26       C    -0.06     0.15     9.54     -39.20      -0.37    -0.22     16
  27       C    -0.15     0.62     7.58     -25.92      -0.20     0.42     16
  28       H     0.06     0.03     8.14     -51.93      -0.42    -0.39     16
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  31       H     0.07    -0.07     8.14     -51.93      -0.42    -0.49     16
  32       H     0.08    -0.19     8.14     -51.93      -0.42    -0.61     16
  33       H     0.07    -0.08     8.14     -51.93      -0.42    -0.50     16
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 Total:          0.00    -8.77   401.60                 -9.69   -18.46