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   4       C    -0.18    -0.25     8.37      37.16       0.31     0.06     16
   5       O    -0.36    -0.94     9.94     -40.31      -0.40    -1.34     16
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  12       C     0.12    -0.15     4.09     -67.12      -0.27    -0.42     16
  13       H     0.12    -0.01     7.50     -51.93      -0.39    -0.40     16
  14       N    -0.70     0.36     5.35     -53.86      -0.29     0.07     16
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  16       O    -0.53    -2.71    15.94       5.35       0.09    -2.62     16
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  21       C    -0.07     0.15     2.82      36.01       0.10     0.25     16
  22       O    -0.54     0.84    12.84     -35.23      -0.45     0.39     16
  23       Si    0.69    -2.02    29.83    -169.99      -5.07    -7.09     16
  24       C    -0.05     0.05     9.84     -39.31      -0.39    -0.34     16
  25       C    -0.11    -0.05     9.63     -39.05      -0.38    -0.42     16
  26       C    -0.16     0.17     7.69     -25.83      -0.20    -0.03     16
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  30       H     0.07    -0.04     8.14     -51.93      -0.42    -0.46     16
  31       H     0.08    -0.15     8.14     -51.93      -0.42    -0.57     16
  32       H     0.07    -0.03     8.14     -51.93      -0.42    -0.46     16
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 Total:          0.00    -8.95   395.32                 -9.53   -18.49