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  13       Si    0.68    -2.15    29.78    -169.99      -5.06    -7.21     16
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  15       C    -0.16    -0.17    10.01     -39.56      -0.40    -0.57     16
  16       C     0.17     0.57     7.29     -38.96      -0.28     0.28     16
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  20       H     0.08    -0.22     8.14     -51.93      -0.42    -0.64     16
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 Total:          0.00   -12.61   321.23                 -6.96   -19.57