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  13       H     0.09     0.34     7.60      -2.39      -0.02     0.33     16
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  15       C    -0.10     0.29     7.19      31.12       0.22     0.52     16
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  20       Si    0.76    -2.53    32.08      68.60       2.20    -0.33     16
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  36       H    -0.32    -2.34     7.11      99.48       0.71    -1.63     16
  37       H    -0.26     0.39     7.11      99.48       0.71     1.10     16
 Total:          0.00   -28.14   322.76                 -4.63   -32.77