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   4       O    -0.49    -2.65    15.12     -18.75      -0.28    -2.94     16
   5       C     0.16     0.13     1.11    -132.16      -0.15    -0.01     16
   6       N    -0.71     0.28     5.07     -48.96      -0.25     0.03     16
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  14       C    -0.08     0.13     2.81      36.01       0.10     0.23     16
  15       O    -0.53    -0.15    12.76     -35.23      -0.45    -0.60     16
  16       Si    0.69    -1.71    29.77    -169.99      -5.06    -6.77     16
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  18       C    -0.06     0.13     9.53     -39.20      -0.37    -0.24     16
  19       C    -0.11    -0.23     6.15     -25.92      -0.16    -0.39     16
  20       C     0.06     0.05     3.92     -25.92      -0.10    -0.05     16
  21       H     0.10     0.09     7.36     -51.93      -0.38    -0.29     16
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  23       C     0.03    -0.02    10.85     101.05       1.10     1.08     16
  24       C    -0.14     0.20     7.21     -25.91      -0.19     0.01     16
  25       H     0.06     0.03     8.13     -51.93      -0.42    -0.39     16
  26       H     0.07    -0.05     8.13     -51.93      -0.42    -0.47     16
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  43       H     0.09    -0.22     8.10     -51.93      -0.42    -0.64     16
 Total:          0.00   -11.03   366.02                 -7.41   -18.44