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   6       N    -0.72     0.31     5.54     -61.62      -0.34    -0.03     16
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  13       H     0.10    -0.23     8.14     -51.93      -0.42    -0.66     16
  14       F    -0.20    -0.50    17.38       2.25       0.04    -0.46     16
  15       C    -0.16     0.31     7.53     -25.92      -0.20     0.12     16
  16       C    -0.14    -0.04    10.36     -39.12      -0.41    -0.44     16
  17       C    -0.20    -0.08     9.37     -39.98      -0.37    -0.45     16
  18       C     0.01     0.01     6.14     -81.95      -0.50    -0.49     16
  19       C    -0.05     0.04     2.99      36.00       0.11     0.14     16
  20       O    -0.54     0.48    10.10     -35.23      -0.36     0.12     16
  21       Si    0.72    -1.45    31.29    -169.99      -5.32    -6.77     16
  22       H     0.07     0.11     8.14     -51.93      -0.42    -0.31     16
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  24       H     0.10     0.28     5.93     -51.93      -0.31    -0.03     16
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  27       H     0.07     0.02     8.14     -51.93      -0.42    -0.40     16
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  29       H     0.07    -0.30     7.84     -51.93      -0.41    -0.70     16
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  32       H     0.10    -0.33     7.89     -51.93      -0.41    -0.74     16
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  38       H    -0.25    -0.25     7.11      56.52       0.40     0.15     16
  39       H    -0.25     0.02     6.76      56.52       0.38     0.40     16
 Total:          0.00    -7.69   322.79                 -9.14   -16.83