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  13       H     0.11    -0.62     8.14      -2.39      -0.02    -0.64     16
  14       F    -0.22    -1.40    17.38      44.97       0.78    -0.62     16
  15       C    -0.16     0.61     7.53      31.12       0.23     0.85     16
  16       C    -0.12     0.09    10.36      22.57       0.23     0.33     16
  17       C    -0.21     0.12     9.37      22.01       0.21     0.33     16
  18       C     0.01     0.02     6.14      41.34       0.25     0.27     16
  19       C    -0.06     0.10     2.99      71.24       0.21     0.31     16
  20       O    -0.55     1.02    10.10    -148.98      -1.50    -0.49     16
  21       Si    0.81    -3.81    31.29      68.60       2.15    -1.67     16
  22       H     0.06     0.33     8.14      -2.39      -0.02     0.31     16
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  24       H     0.09     0.69     5.93      -2.39      -0.01     0.68     16
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  32       H     0.12    -0.95     7.89      -2.39      -0.02    -0.97     16
  33       H     0.07    -0.05     8.14      -2.39      -0.02    -0.07     16
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  39       H    -0.27     0.36     6.76      99.48       0.67     1.03     16
 Total:          0.00   -20.25   322.79                  1.34   -18.91