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   5       C    -0.08     0.44     2.63     -11.54      -0.03     0.41     16
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  14       C    -0.15     0.00     5.87     -20.09      -0.12    -0.12     16
  15       C    -0.02    -0.04     9.21      22.52       0.21     0.16     16
  16       C    -0.15    -0.17     4.78     -19.86      -0.09    -0.26     16
  17       C    -0.08    -0.15     2.80      71.24       0.20     0.05     16
  18       O    -0.54    -2.78    12.88    -148.98      -1.92    -4.70     16
  19       Si    0.75     0.84    30.81      68.60       2.11     2.95     16
  20       C     0.11    -0.02     6.63      22.47       0.15     0.13     16
  21       F    -0.13    -0.27    12.57      44.97       0.57     0.30     16
  22       C    -0.15     0.67    10.01      22.28       0.22     0.89     16
  23       C    -0.04     0.24     9.54      22.52       0.21     0.46     16
  24       C    -0.12     1.23     5.61      30.58       0.17     1.40     16
  25       C    -0.11     1.09     4.96      30.58       0.15     1.24     16
  26       H     0.06    -0.20     8.13      -2.39      -0.02    -0.22     16
  27       H     0.06    -0.13     8.13      -2.39      -0.02    -0.15     16
  28       H     0.13    -1.15     8.14      -2.39      -0.02    -1.17     16
  29       H     0.06     0.02     8.10      -2.39      -0.02     0.00     16
  30       H     0.06    -0.05     7.56      -2.39      -0.02    -0.07     16
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  32       H     0.05     0.10     8.14      -2.39      -0.02     0.08     16
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  35       H     0.13     0.00     7.77      -2.39      -0.02    -0.02     16
  36       H     0.38     0.03     8.41     -74.06      -0.62    -0.60     16
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  42       H     0.10    -1.29     8.14      -2.39      -0.02    -1.30     16
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  44       H     0.10    -1.06     8.11      -2.39      -0.02    -1.08     16
 Total:          0.00   -22.52   361.40                  2.35   -20.16