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  16       Cl    0.01     0.04    27.20      -2.72      -0.07    -0.03     16
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  19       C    -0.03     0.17     2.94      71.24       0.21     0.38     16
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  21       Si    0.71    -3.47    30.92      68.60       2.12    -1.35     16
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 Total:          0.00   -19.73   365.21                  0.86   -18.87