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   5       C    -0.11     0.45     5.80      29.85       0.17     0.62     16
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  16       C    -0.11    -0.20     9.46      22.28       0.21     0.01     16
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  21       O    -0.56    -0.18    12.88    -148.98      -1.92    -2.10     16
  22       Si    0.80    -3.74    30.76      68.60       2.11    -1.63     16
  23       C     0.10    -0.55    10.43      83.09       0.87     0.32     16
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  26       C    -0.07    -0.40     9.61      22.63       0.22    -0.18     16
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 Total:          0.00   -29.75   403.41                  0.43   -29.32