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   5       C    -0.11     0.42     5.80      29.85       0.17     0.59     16
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  16       C     0.17     0.95     6.70      22.84       0.15     1.10     16
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  18       C     0.01    -0.01     9.81     113.37       1.11     1.10     16
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  21       C    -0.16     0.43     5.35     -19.90      -0.11     0.32     16
  22       C    -0.07     0.29     2.79      71.24       0.20     0.49     16
  23       O    -0.55     0.41    12.83    -148.98      -1.91    -1.50     16
  24       Si    0.76    -3.64    29.86      68.60       2.05    -1.59     16
  25       C    -0.02     0.01     9.16      22.52       0.21     0.21     16
  26       C    -0.13     0.46     7.39      31.12       0.23     0.69     16
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  31       H     0.13    -0.97     8.14      -2.39      -0.02    -0.99     16
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  48       H     0.10    -0.46     8.08      -2.39      -0.02    -0.48     16
 Total:          0.00   -27.32   397.10                  2.21   -25.11