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   3       C    -0.15     0.12     8.84      37.16       0.33     0.45     16
   4       C    -0.08     0.07     1.78     -90.62      -0.16    -0.09     16
   5       H     0.07    -0.04     8.14     -51.93      -0.42    -0.46     16
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   9       H     0.09     0.23     7.66     -51.93      -0.40    -0.16     16
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  11       C     0.59     2.54     7.73     -12.86      -0.10     2.44     16
  12       O    -0.54    -3.84    14.21       5.19       0.07    -3.77     16
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  15       C    -0.21    -0.62     9.37     -39.98      -0.37    -1.00     16
  16       C     0.06     0.19     6.18     -81.95      -0.51    -0.31     16
  17       C    -0.05     0.02     2.98      36.01       0.11     0.12     16
  18       O    -0.55     0.50     9.81     -35.23      -0.35     0.15     16
  19       Si    0.72    -1.10    31.22    -169.99      -5.31    -6.41     16
  20       N    -0.39    -1.68     3.16    -115.62      -0.37    -2.04     16
  21       C     0.06     0.17    10.32      59.85       0.62     0.79     16
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  23       C    -0.11     0.13     4.85     -26.73      -0.13     0.00     16
  24       H     0.05    -0.02     8.14     -51.93      -0.42    -0.44     16
  25       H     0.05    -0.02     8.14     -51.93      -0.42    -0.44     16
  26       H     0.06    -0.02     6.43     -51.93      -0.33    -0.35     16
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  31       H     0.07     0.00     6.43     -51.93      -0.33    -0.33     16
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  48       H     0.07    -0.11     6.43     -51.93      -0.33    -0.44     16
 Total:          0.00    -7.45   365.14                -10.48   -17.93