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   3       C    -0.15     0.20     8.84      37.16       0.33     0.52     16
   4       C    -0.08     0.13     1.78     -90.62      -0.16    -0.03     16
   5       H     0.07    -0.09     8.14     -51.93      -0.42    -0.52     16
   6       C    -0.11     0.09     4.85     -26.73      -0.13    -0.04     16
   7       C    -0.13     0.04     5.49     -26.73      -0.15    -0.11     16
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   9       H     0.09     0.13     7.58     -51.93      -0.39    -0.26     16
  10       N    -0.72     0.65     5.03     -54.80      -0.28     0.37     16
  11       C     0.56     1.13     7.73     -12.39      -0.10     1.03     16
  12       O    -0.51    -3.05    15.00       5.31       0.08    -2.97     16
  13       C    -0.14    -0.07     5.88    -104.92      -0.62    -0.68     16
  14       C     0.16     0.18     7.28     -38.97      -0.28    -0.10     16
  15       F    -0.10    -0.38    15.55       2.25       0.04    -0.35     16
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  17       C    -0.10     0.11     5.27    -104.48      -0.55    -0.45     16
  18       C    -0.08     0.11     2.44      36.01       0.09     0.20     16
  19       O    -0.52    -0.10    12.88     -35.23      -0.45    -0.55     16
  20       Si    0.70    -1.62    30.24    -169.99      -5.14    -6.76     16
  21       C     0.11    -0.06     7.23     -39.49      -0.29    -0.34     16
  22       F    -0.12    -0.11    16.73       2.25       0.04    -0.07     16
  23       C    -0.09     0.15     9.51     -39.12      -0.37    -0.23     16
  24       C    -0.13     0.30     5.39     -26.75      -0.14     0.15     16
  25       C    -0.11     0.22     4.85     -26.75      -0.13     0.09     16
  26       H     0.06    -0.05     6.43     -51.93      -0.33    -0.39     16
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  29       H     0.07    -0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.47     16
  30       H     0.06    -0.09     6.43     -51.93      -0.33    -0.43     16
  31       H     0.05    -0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.48     16
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 Total:          0.00    -6.63   373.64                 -9.89   -16.52