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  14       O    -0.53    -2.48    16.01       5.31       0.08    -2.39     16
  15       C    -0.15     0.01     5.87    -104.97      -0.62    -0.61     16
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  18       C    -0.07    -0.02     2.79      36.00       0.10     0.08     16
  19       O    -0.53    -0.88    12.86     -35.23      -0.45    -1.34     16
  20       Si    0.67    -0.14    30.77    -169.99      -5.23    -5.38     16
  21       C     0.14     0.15     6.67     -39.27      -0.26    -0.11     16
  22       F    -0.12    -0.33    12.83       2.25       0.03    -0.31     16
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  24       C    -0.05     0.12     9.54     -39.20      -0.37    -0.26     16
  25       C    -0.13     0.24     5.49     -26.75      -0.15     0.09     16
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 Total:          0.00    -9.47   388.38                -10.31   -19.78