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   5       O    -0.54    -5.81    15.73      21.94       0.35    -5.47     16
   6       C    -0.07     0.25     2.63     -11.54      -0.03     0.22     16
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  10       C     0.14    -0.56     2.46      44.99       0.11    -0.45     16
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  15       C    -0.15     0.10     5.87     -20.09      -0.12    -0.01     16
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  20       Si    0.75     0.45    30.77      68.60       2.11     2.56     16
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  22       F    -0.13    -0.88    12.83      44.97       0.58    -0.30     16
  23       C    -0.15     0.62    10.01      22.28       0.22     0.84     16
  24       C    -0.04     0.24     9.54      22.52       0.21     0.46     16
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  30       H     0.06     0.14     8.13      -2.39      -0.02     0.12     16
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 Total:          0.00   -25.77   388.38                  1.76   -24.01