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   5       O    -0.54    -6.33    15.73      21.95       0.35    -5.99     16
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  21       O    -0.54     1.25    10.32    -148.98      -1.54    -0.29     16
  22       Si    0.77    -0.49    31.12      68.60       2.13     1.64     16
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 Total:          0.00   -26.76   391.80                  1.92   -24.84