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   6       C    -0.07     0.15     2.63     -11.54      -0.03     0.12     16
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  17       Cl    0.00     0.01    27.20      -2.72      -0.07    -0.07     16
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  19       C    -0.23     1.26     5.68      24.52       0.14     1.40     16
  20       C    -0.03     0.19     2.94      71.24       0.21     0.40     16
  21       O    -0.53     2.65    12.85    -148.98      -1.91     0.73     16
  22       Si    0.70    -4.28    30.91      68.60       2.12    -2.16     16
  23       C    -0.07     0.34     9.71      22.70       0.22     0.56     16
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  29       H     0.07     0.14     8.13      -2.39      -0.02     0.12     16
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 Total:          0.00   -21.98   391.44                  0.27   -21.70