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  16       C     0.02     0.13    12.03      85.23       1.02     1.16     16
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  20       C    -0.06     0.01     6.18      24.76       0.15     0.16     16
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  23       Si    0.77    -1.90    32.09      68.60       2.20     0.30     16
  24       O    -0.17    -0.46     8.90       4.52       0.04    -0.42     16
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  41       H    -0.28    -0.86     7.11      99.48       0.71    -0.16     16
  42       H    -0.30    -1.21     7.11      99.48       0.71    -0.50     16
 Total:          0.00   -24.19   361.59                  1.06   -23.13