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  21       C    -0.02     0.00     6.14     -81.87      -0.50    -0.50     16
  22       C    -0.05     0.05     2.87      36.01       0.10     0.16     16
  23       O    -0.53     0.49    10.32     -35.23      -0.36     0.12     16
  24       Si    0.71    -0.79    31.12    -169.99      -5.29    -6.08     16
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  26       H     0.08    -0.39     8.13     -51.93      -0.42    -0.81     16
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  41       H     0.38    -1.20     8.70      45.56       0.40    -0.80     16
  42       H    -0.26    -0.40     7.11      56.52       0.40     0.00     16
  43       H    -0.25    -0.42     7.11      56.52       0.40    -0.02     16
 Total:          0.00   -11.19   362.48                -10.99   -22.18