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  13       Si    0.77    -5.21    29.85      68.60       2.05    -3.16     16
  14       C    -0.02    -0.02     7.19      22.52       0.16     0.15     16
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  16       H     0.09     0.67     7.26      -2.39      -0.02     0.66     16
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  23       C    -0.14    -0.17    10.05      22.27       0.22     0.06     16
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  45       H     0.09    -0.02     7.71      -2.39      -0.02    -0.03     16
 Total:          0.00   -22.63   364.19                  2.56   -20.06