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   4       O    -0.37    -0.40     9.95     -35.23      -0.35    -0.75     16
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  16       F    -0.17    -0.16    15.29       2.25       0.03    -0.13     16
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  22       C    -0.07     0.03     2.82      36.01       0.10     0.13     16
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  24       Si    0.69    -0.88    29.78    -169.99      -5.06    -5.95     16
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  26       C    -0.19    -0.33     8.26     -39.44      -0.33    -0.65     16
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  31       H     0.07    -0.14     8.08     -51.93      -0.42    -0.56     16
  32       H     0.07    -0.13     7.87     -51.93      -0.41    -0.54     16
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 Total:          0.00    -8.82   410.30                 -9.56   -18.38