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  19       C    -0.05    -0.13     5.43     -19.83      -0.11    -0.24     16
  20       C    -0.08     0.08     2.80      71.23       0.20     0.28     16
  21       O    -0.56    -1.09    12.73    -148.98      -1.90    -2.98     16
  22       Si    0.77    -1.60    29.75      68.60       2.04     0.44     16
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 Total:          0.00   -28.36   378.39                 -3.56   -31.91