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   6       C    -0.11     0.06     5.29    -104.60      -0.55    -0.49     16
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  13       C     0.56     0.90     7.77     -12.40      -0.10     0.80     16
  14       O    -0.51    -3.00    14.94       5.30       0.08    -2.92     16
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  16       C     0.16     0.21     7.28     -38.97      -0.28    -0.08     16
  17       F    -0.11    -0.43    15.55       2.25       0.04    -0.39     16
  18       C    -0.13     0.08     9.20     -39.57      -0.36    -0.28     16
  19       C    -0.09     0.13     5.14    -104.49      -0.54    -0.40     16
  20       C    -0.08     0.13     2.97      36.01       0.11     0.24     16
  21       O    -0.53     0.34    11.63     -35.23      -0.41    -0.07     16
  22       Si    0.68    -1.00    29.54    -169.99      -5.02    -6.02     16
  23       C     0.08    -0.17     6.65     -39.49      -0.26    -0.44     16
  24       F    -0.10     0.30    13.67       2.25       0.03     0.33     16
  25       C    -0.08     0.22     9.52     -39.12      -0.37    -0.15     16
  26       C    -0.14     0.38     7.30     -25.92      -0.19     0.19     16
  27       C    -0.08     0.06     8.59     -39.61      -0.34    -0.28     16
  28       C    -0.21    -0.02     9.04     -39.44      -0.36    -0.38     16
  29       H     0.06    -0.15     7.67     -51.93      -0.40    -0.54     16
  30       H     0.06    -0.14     7.66     -51.93      -0.40    -0.54     16
  31       H     0.10    -0.31     8.14     -51.93      -0.42    -0.74     16
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  46       H     0.13    -0.21     6.30     -52.48      -0.33    -0.54     16
 Total:          0.00    -8.65   386.61                -10.03   -18.69